Panasonic製PTFEフィルタ標準搭載FFU

半導体製造装置業界では、ボロン発生量を大幅に低減したPTFEフィルターを使用したFFUが求められています。

今までは標準品がないため、仕様打ち合わせから入ると製品入手まで時間がかかりがちでした。

そんなお客様のお悩みを解決するためにPTFEフィルターを標準搭載したFFUをご用意しました。

製品特長

PTFEフィルタを標準搭載

　ケンブリッジフィルターコーポレーション製のフィルターを標準搭載

　　・集塵効率：0.1μm　99.99999％以上　無水シリカ試験品

　　・材質：ろ材 PTFE　外枠 アルミ

2種類のサイズを用意

　BV-R04TF2F1S（外形寸法：幅400 x 奥行400 x 高さ130）

　BV-R10TF2F1S（外形寸法：幅610 x 奥行610 x 高さ130）

従来より納期を短縮

　上記2機種は受注後約2ヶ月で納品対応（納期のご相談は別途可能です）

選べる電源仕様

　AC100～120V、200V～240V

カスタマイズに対応

　1辺が400ｍｍ以上であればご要望サイズへの変更可

　ブラシレスモータ採用の為、DC入力への仕様変更が可能

　　※カスタマイズ製品の納期は別途ご相談

本製品はPanasonic製品をトーアメック仕様として企画した製品です。

ご不明な点やご要望等ございましたら、まずは弊社にお問い合わせください。

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